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全焊接簡易設(shè)計(jì)機(jī)體有最小限度死艙區(qū)，閥體材質(zhì)符合 SEMI F-20 標(biāo)準(zhǔn)， “ 超高純度級(jí)別的半導(dǎo)體的生產(chǎn)應(yīng)用材質(zhì)規(guī)格，為 316L 不銹鋼 ” 。 Elgiloy 牌彈簧材質(zhì)有強(qiáng)耐久性以及耐腐蝕性，以便延長其循環(huán)壽命，操作無噪音，多種端口連接選擇。
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