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簡(jiǎn)潔的設(shè)計(jì)機(jī)體,有最小限度的死艙區(qū),閥體材質(zhì)符合SEMI F-20標(biāo)準(zhǔn)，“超高純度級(jí)別的半導(dǎo)體的生產(chǎn)應(yīng)用材質(zhì)規(guī)格為316L不銹鋼”最大流量最小粒子間隔。UNILOK獨(dú)有特殊清潔工藝，指定清潔空間內(nèi)，保證水分、氧氣和碳?xì)浠衔锖孔钚⊥ㄟ^(guò)。UNILOK獨(dú)有的電解拋光工藝實(shí)現(xiàn)沾濕區(qū)域的高光潔度，Elgiloy牌隔膜材質(zhì)有強(qiáng)耐久性以及耐腐蝕性，以便延長(zhǎng)其循環(huán)壽命，聚三氟氯乙烯閥座材質(zhì)具有顯著的耐化學(xué)性及耐熱性。
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