簡潔的設(shè)計機體,有最小限度的死艙區(qū),閥體材質(zhì)符合SEMI F-20標準 ，“超高純度級別的半導(dǎo)體的生產(chǎn)應(yīng)用材質(zhì)規(guī)格為316L不銹鋼”最大流量最小粒子間隔UNILOK獨有特殊清潔工藝 ，指定清潔空間內(nèi) ，保證水分、氧氣和碳氫化合物含量最小通過，UNILOK獨有的電解拋光工藝實現(xiàn)沾濕區(qū)域的高光潔度，Elgiloy牌隔膜材質(zhì)有強耐久性以及耐腐蝕性 ，以便延長其循環(huán)壽命,聚三氟氯乙烯閥座材質(zhì)具有顯著的耐化學(xué)性及耐熱性。

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